晶圓磷元素分析儀EDX4500,天瑞儀器

晶圓磷元素分析儀EDX4500,天瑞儀器

性能特點(diǎn)
高效低能X光管，專(zhuān)為輕元素設計，達到水平
針對磷及有害元素測試而開(kāi)發(fā)的配件
SDD硅漂移探測器，良好的能量線(xiàn)性、能量分辨率和能譜特性，較高的峰背比
低能X射線(xiàn)激發(fā)系統，提高對P、S等微含量元素激發(fā)效果
智能抽真空系統，屏蔽空氣的影響，大幅擴展測試的范圍
自動(dòng)穩譜裝置，保證了儀器工作的*性
高信噪比的電子線(xiàn)路單元
針對不同樣品自動(dòng)切換準直器和濾光片，免去手工操作帶來(lái)的繁瑣
多參數線(xiàn)性回歸方法，使元素間的吸收、增強效應得到明顯的抑制
內置高清晰攝像頭
液晶屏顯示讓儀器的重要參數（管壓、管流、真空度）一目了然

晶圓磷元素分析儀EDX4500,天瑞儀器標準配置
低能級高效超薄窗X光管
超薄窗大面積的*SDD探測器
低能光路增強系統
高信噪比電子線(xiàn)路單元
內置高清晰攝像頭
自動(dòng)切換型準直器和濾光片
三重安全保護模式
相互獨立的基體效應校正模型
多變量非線(xiàn)性回歸程序
整體鋼架結構，迷宮式設計，力度可靠的保證
90mm×70mm的液晶屏
外形尺寸：660mm×510mm×350mm
樣品腔體積：Φ320mm×100mm
重量：65Kg
高效真空泵

技術(shù)指標
測量元素范圍：從鈉（Na）到鈾（U）
元素含量分析范圍： ppm—99.99%（不同元素，分析范圍不同）
同時(shí)分析元素：一次性可測幾十種元素
測量時(shí)間：60秒-200秒
能量分辨率為：145±5eV
管壓：5KV-50KV
管流：50uA-1000uA

應用領(lǐng)域
晶圓磷元素分析、有害元素檢測（RoHS、鹵素）、全元素分析等