能譜儀是用來(lái)對材料微區成分元素種類(lèi)與含量分析,配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。
能譜儀的性能指標:
固體角:決定了信號量的大小,該角度越大越好
檢出角:理論上該角度越大越好
探頭:新型硅漂移探測器(SDD)逐步取代鋰硅Si(Li)探測器
能量分辨力:較別的能譜儀分辨力可達121eV
探測元素范圍:Be4~U92
能譜儀的測試原理:
當X射線(xiàn)光子進(jìn)入檢測器后,在Si(Li)晶體內激發(fā)出一定數目的電子空穴對。產(chǎn)生一個(gè)空穴對的較低平均能量ε是一定的(在低溫下平均為3.8ev),而由一個(gè)X射線(xiàn)光子造成的空穴對的數目為N=△E/ε,因此,入射X射線(xiàn)光子的能量越高,N就越大。利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對,經(jīng)過(guò)前置放大器轉換成電流脈沖,電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經(jīng)過(guò)主放大器轉換成電壓脈沖進(jìn)入多道脈沖高度分析器,脈沖高度分析器按高度把脈沖分類(lèi)進(jìn)行計數,這樣就可以描出一張X射線(xiàn)按能量大小分布的圖譜。
能譜儀的使用范圍:
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無(wú)機或有機固體材料分析;
2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態(tài)成分的鑒定;
3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進(jìn)行分析,如:金屬化膜表面鍍層的檢測;
4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別,考古和文物鑒定,以及刑偵鑒定等領(lǐng)域;
5、進(jìn)行材料表面微區成分的定性和定量分析,在材料表面做元素的面、線(xiàn)、點(diǎn)分布分析。